专利名称：晶舟专利类型：发明专利发明人：柳汉吉,崔宇镕申请号：CN201510127890.7申请日：20150323公开号：CN104952774A公开日：20150930
摘要：本发明公开了一种晶舟。本发明的一实施例涉及的晶舟(100)以上下层叠的方式装载多个基板，其特征在于，包括：环状支架部130，支撑基板(10)的底部以载放基板(10)；以及多个支撑杆部(110)，支撑环状支架部(130)的底部，在其一端载放环状支架部(130)；在基板(10)的投射面积内，环状支架部(130)与支撑杆部(110)连接成一体。
申请人：泰拉半导体株式会社
地址：韩国京畿道
国籍：KR
代理机构：北京鸿元知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容